設備簡(jiǎn)述
ZY-1110大弧離子鍍膜機是我公司自主研發(fā)的超硬膜離子鍍膜機,采用獨有的新型過(guò)濾弧源鍍膜技術(shù)、等離子體增強陽(yáng)極輔助鍍膜技術(shù),規劃了爐體內等離子體的路線(xiàn)和分布,增強了刻蝕效果,提高了離化率,使得靶材表面被均勻刻蝕,涂層表面更光滑致密,提升了涂層的結合力,確保了涂層厚度及涂層的均勻性。同時(shí),新技術(shù)的應用提高了鍍膜效率,節約了能耗和運行成本。
設備參數
爐體尺寸 |
Ф1180XH1050 |
有效空間 |
Ф800XH650 |
應用技術(shù) |
IET+ BIG ARC |
靶材數量 |
IET2+ARC9 xφ160 |
標準涂層 |
TiN, CrN, AlCrN, etc. |
其他復合涂層 |
TiAlCrN, TiSiN,TiAlCN,etc. |
生產(chǎn)周期 |
4-6小時(shí)/爐 |
外圍尺寸 |
L5800XW2100XH2100mm L4800XW3000XH2100 |
使用范圍 |
適用于滾刀,鉆頭,棒狀銑刀,微鉆,刀粒等。 |
應用
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